联系我们 +
服务热线
0755-89260762
863检测 · 总部
电话：18025380270 邮箱:863test@sz863.com 地址:深圳市龙岗区坪地街道坪西社区龙岗大道（坪地段）1001号通产丽星科技产业园厂房一B201厂房二101、201
半导体专题丨半导体SEMI F57解决方案
一、背景
标准SEMI F57：用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件的规范文件，规定了在UPW分配系统中输送超纯水(UPW)的超高纯度(UHP)聚合物材料和组件的最低性能要求。主要针对聚合物材料和组件的性能要求和验证。
国际半导体产业协会SEMI为半导体制程设备提供了一系列环境、安全和卫生方面的准则，适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。半导体先进制程工艺中使用的超纯水，超纯化学品的使用要求日益提高，材料的选择在半导体湿法工艺中越发重要，对含氟聚合物的纯度要求也越来越高。SEMI F57标准对UHP液态化学品输送系统(LCDS)中高聚合物材料和组件的选择、生产过程、产品结构设计等各方面均提出了要求和有效建议。
二、测试对象
SEMI F57标准适用的主要产品类别有：
1.半导体超纯水和液态化学品传送系统中的聚合物材料、组件及过程设备；
2.管道、配件、阀门、过滤壳体、压力传感器、流量计、计量器、校准器。
三、检测项目及限值
1.测试项目：
|
序号 |
测试项目 |
|
1 |
阴离子污染 |
|
2 |
金属离子污染 |
|
3 |
总有机碳TOC |
|
4 |
表面粗糙度 |
2.测试项目选择
3.阴离子污染限值
|
阴离子 |
限值(μg/m2) |
测试仪器 |
|
NH4+ |
100 |
IC |
|
Br- |
100 |
|
|
Cl- |
100 |
|
|
F- |
20000 |
|
|
NO2- |
100 |
|
|
NO3- |
100 |
|
|
PO43- |
100 |
|
|
SO42- |
100 |
4.金属离子污染限值
|
元素种类 |
限值(μg/m2) |
元素种类 |
限值(μg/m2) |
测试仪器 |
|
Al |
5 |
Li |
2 |
ICP-MS |
|
Sb |
2 |
Mg |
2 |
|
|
As |
2 |
Mn |
5 |
|
|
Ba |
15 |
Ni |
1 |
|
|
B |
30 |
K |
10 |
|
|
Cd |
2 |
Na |
10 |
|
|
Ca |
10 |
Sr |
0.5 |
|
|
Cr |
1 |
Ti |
2 |
|
|
Cu |
10 |
Sn |
2 |
|
|
Fe |
5 |
V |
2 |
|
|
Pb |
1 |
Zn |
5 |
5.总有机碳TOC限值
|
污染物 |
限值(μg/m2) |
测试仪器 |
|
TOC |
40000 |
TOC仪 |
6.粗糙度
|
表面粗糙度 |
限值μm (μin) |
测试仪器 |
|
挤压成型(<250mmOD) |
≤0.25(≤10) |
AFM 共聚焦显微镜 |
|
挤压成型(≥250mmOD,≤315mmOD) |
≤0.45(≤10) |
|
|
注塑成型(<250mmOD) |
≤0.35(≤10) |
|
|
注塑成型(≥250mmOD,≤315mmOD) |
≤0.50(≤10) |
|
|
机械加工(<250mmOD) |
≤0.60(≤10) |
|
|
机械加工(≥250mmOD,≤315mmOD) |
≤1.00(≤40) |
四、测试步骤
1.提取方法
根据SEMI F40提取方法的要求进行冲洗和浸泡后，取5cmX5cm样品，浸泡4个样品，1个空白样。分别在24h，72h，120h，168h进行测试。提取方法如下：
|
部件 |
冲洗方式（冲洗次数*冲洗时间/min） |
浸泡方式 |
|
管子 |
10*2min |
1week |
|
管道 |
||
|
阀门 |
10*2min |
1week |
|
调压器 |
||
|
管件 |
||
|
过滤器外壳 |
10*2min |
1week |
|
O型圈 |
10*2min |
1week |
|
垫片 |
||
|
备注： 1.浸泡温度为室温或85℃或其他指定温度 2.浸泡每天搅拌1min,不能用搅拌棒 |
||
2.浸泡液的选择
浸泡液可以是如下液体：超纯水，超纯硝酸、超纯盐酸和IPA要求， HF，H2O2等（冲洗用超纯水清洗）
|
浸泡液测试能力 |
|||
|
浸泡液 |
金属离子 |
阴离子 |
TOC |
|
超纯水 |
√ |
√ |
√ |
|
NMP |
√ |
√ |
√ |
|
水 |
√ |
√ |
√ |
|
双氧水 |
√ |
√ |
√ |
|
酸 |
√ |
✕ |
✕ |
|
碱 |
√ |
✕ |
✕ |
|
其他化学试剂 |
需与实验室技术经理确认 |
||
3.制样要求
1）接触液体体积大于200mL
2）直径要求：≤20mm
3）长度要求：根据直径调整，使得内壁接触液体体积V≥200mL
计算公式：长度L=V（体积）/(πD) (L-长度 D-直径）
4.表面粗糙度取样要求
1）用和产品相同制样方法制取平整样品，不能有翘曲；
2）样品尺寸：最小 3x3mm， 测中心以及边缘两个点
五、863检测
实验室配置了ICP-MS、IC、ICP-OES、TOC、AFM、光学显微镜、SEM、FIB等多套精密检测设备。可以满足SEMI F57测试。
863检测具备丰富的F57测试经验，协助半导体聚合物及相关组件供应商，以及化学品输送生产设计企业满足SEMI标准要求，尤其在元素分析、阴离子分析等方面有先进前处理方法，确保结果的准确性。863检测拥有专业的技术团队和丰富的半导体测试经验、完善的服务内容和服务网络，能为企业提供专业的咨询和测试服务。
