半导体SEMI C90 PFA材料中的铁污染量解决方案

标准SEMI C90：用于测试化学液体输送系统所用的全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)材料的测试方法与规范，在半导体行业中的使用提供了污染物控制的解决方案。该标准规定了在化学液体分配系统中使用的PFA材料的提取要求，以确保这些材料在制造尖端半导体时不会从聚合物管道中浸出金属。SEMI C90用于测量和限制半导体行业中用于液体化学分配系统的PFA材料中的铁污染量。这些标准有助于确保PFA材料的高纯度和低污染水平，从而保护半导体制造过程中的产品质量。

国际半导体产业协会SEMI为半导体制程设备提供了一系列环境、安全和卫生方面的准则，适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。半导体先进制程工艺中使用的超纯水，超纯化学品的使用要求日益提高，材料的选择在半导体湿法工艺中越发重要，对含氟聚合物的纯度要求也越来越高。SEMI C90标准对UHP液态化学品输送系统(LCDS)中高聚合物材料和组件的选择、生产过程、产品结构设计等各方面均提出了要求和有效建议。

01、测试对象

SEMI C90标准适用的主要产品类别有：

 1）半导体超纯水和液态化学品传送系统中的聚合物材料、组件及过程设备；

 2）管道、配件、阀门、过滤壳体、压力传感器、流量计、计量器、校准器。

1.提取方法

根据SEMI F40提取方法的要求进行冲洗和浸泡后，取5cmX5cm样品，浸泡4个样品，1个空白样。浸泡后进行测试。

提取方法如下：

2.送样要求

1）接触液体体积大于200mL

2）直径要求：≤20mm

3）长度要求：根据直径调整，使得内壁接触液体体积V≥200mL

计算公式：长度L=V（体积）/(πD) (L-长度D-直径）

实验室配置了ICP-MS、IC、ICP-OES、TOC等多套精密检测设备。可以满足SEMI C90测试。

863检测具备丰富的SEMI C90测试经验，协助半导体聚合物及相关组件供应商，以及化学品输送生产设计企业满足SEMI标准要求，尤其在元素分析、阴离子分析等方面有先进前处理方法，确保结果的准确性。863检测拥有专业的技术团队和丰富的半导体测试经验、完善的服务内容和服务网络，能为企业提供专业的咨询和测试服务。